技術(shù)編號：6039448
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及傳感器，尤其涉及一種基于孔縫結(jié)構(gòu)應(yīng)力集中的壓阻式微 懸臂梁傳感器。 技術(shù)背景近年來，基于微懸臂梁結(jié)構(gòu)的傳感器已成為微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域一個廣泛關(guān)注的 研究熱點(diǎn)。該類傳感器具有高靈敏度、高分辨率、快速響應(yīng)和微型化等特點(diǎn)， 被廣泛應(yīng)用于生化傳感檢測等領(lǐng)域。測量微懸臂梁彎曲的方法有光學(xué)和電學(xué)方 法。光學(xué)法具有靈敏度高，但系統(tǒng)復(fù)雜，且光學(xué)系統(tǒng)需要精密校準(zhǔn)限制了其廣 泛應(yīng)用，電學(xué)法有壓阻式、壓電式、電容式等，靈敏度相較光學(xué)法要低，但操 作簡單，易于集成。其中...
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