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      角速度傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:6108358

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      本發(fā)明涉及具有異常檢測功能的角速度傳感器。背景技術(shù) 作為現(xiàn)有的這種角速度傳感器來說,例如在日本公開專利、特開2000-88584號公報中有所介紹。圖4B、4C、4A以及4D表示的是在特開2000-88584號公報中所介紹的、從振子的前后以及左右所看到的形成于振子外周表面上的各個電極的展開圖。在這些圖中,在作為由壓電陶瓷所構(gòu)成的音叉振子100的一個主面的X1面上分別設置有驅(qū)動電極101、102。在作為音叉振子100的側(cè)面的Y1、Y2面上分別設置有角速度檢測電...
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