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      干涉儀精確確定光學(xué)系統(tǒng)聚焦面的方法和裝置的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:6112194

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      本發(fā)明涉及光學(xué)系統(tǒng)的測量,特別是一種干涉儀精確確定光學(xué)系統(tǒng)聚焦面的方法和裝置。背景技術(shù)隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展與計算機技術(shù)的提高,對光學(xué)系統(tǒng)的要求越來越高,因而對各種光學(xué)元件的要求也越來越高,干涉檢測隨之得到不斷提高?,F(xiàn)在干涉儀的測量精度在不斷提高,并在光學(xué)裝調(diào)中得到了越來越廣泛的應(yīng)用。為了提高光學(xué)系統(tǒng)精度,不少專利涉及組裝光學(xué)系統(tǒng),例如CN00130721.5,CN200420012162.9,CN99251361.8。CN00130721.5用光譜儀裝調(diào)光學(xué)...
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