技術(shù)編號：6132662
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基于槽型懸臂梁結(jié)構(gòu)的微質(zhì)量傳感器及實(shí)現(xiàn)方法，屬于傳感器，主要用于液體濃度、空氣粉塵以及微生物如細(xì)菌或病毒質(zhì)量等物質(zhì)的高精度測量。背景技術(shù)壓電式微質(zhì)量傳感器主要通過測量附著在傳感器表面的物質(zhì)的質(zhì)量引起的結(jié)構(gòu)諧振頻率變化來檢測物質(zhì)成分，具有結(jié)構(gòu)簡單、響應(yīng)快，成本低和精度高的特點(diǎn)，它克服了超高頻體聲波檢測法、酶聯(lián)分析法、熒光標(biāo)記法等所存在的檢測設(shè)備昂貴、費(fèi)時及信號采集過程繁瑣的問題，在微生物檢測如細(xì)菌和病毒、微小顆粒、氣/液體成分和濃度等方面具有廣...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。