技術編號：6134168
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明一般涉及壓力傳感器總成，特別是涉及具有改進的熱特性的壓力傳感器總成。本發(fā)明技術背景已知的各種蒸汽沉積工藝例如在半導體產品生產過程中是有用的。這些工藝一般用于在一基底上沉積極薄層的、包括導體、半導體和絕緣材料的各種物質。蒸汽沉積工藝一般要求每一種沉積材料以氣體狀態(tài)或蒸汽相輸送到沉積室，在那兒，在工藝過程中冷凝到工件上。這種沉積工藝的有效操作，要求對用于該工藝過程的氣體或蒸汽的壓力進行精確的控制。在沉積材料的蒸汽相具有相對較低的冷凝溫度(也即遠低于室溫)...
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