技術(shù)編號：6138727
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種按權(quán)利要求1前序部分所述的電容式真空度測量元件。眾所周知，壓力或壓差是這樣測量的，即一塊薄的膜片受壓力作用并測出其撓度。測量這種膜片的撓度的一個已知的和適用的方法是，膜片結(jié)構(gòu)做成可變電容并通過電子測量方法按已知的方式估算與壓力變化相應的電容變化。電容是這樣構(gòu)成的，即薄的易彎曲的膜片表面以很小的距離相對于另一個表面布置并將兩個對置的表面涂敷一層導電層或用導電材料制成。膜片受壓力作用時，由于產(chǎn)生撓度而使兩個電極之間的距離改變，從而可算出該裝置的電...
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