技術編號：6151629
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種測量不同波長相位延遲器件的方法及其系統(tǒng)，特別是涉及一種利用單 一波長光源測量不同波長相位延遲器件的方法及其系統(tǒng)，屬于光學測量。背景技術相位延遲量作為相位延遲器件的重要參數(shù)，其測量準確度直接影響到應用系統(tǒng)的質 量，并且隨著技術的發(fā)展和研究的深入，人們對波片的加工和測量精度都提出了更高的要求，例如空間太陽望遠鏡(SST)的偏振測量精度已經要求能夠達到10—4以上。因此，提 高相位延遲量的測量準確度對于設計和研制高精度相位延遲器件及系統(tǒng)具有十分重要...
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