技術(shù)編號：6157615
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測試技術(shù)，特別涉及一種。 背景技術(shù)在射頻集成電路工藝中采用的對半導(dǎo)體射頻器件進(jìn)行測試的射頻測試總結(jié)構(gòu)如 圖1所示，包括兩部分待測的半導(dǎo)體射頻器件結(jié)構(gòu)11和為射頻探針的放置而設(shè)計的去嵌 (de-embedding)結(jié)構(gòu)12。準(zhǔn)確的半導(dǎo)體射頻器件的射頻參數(shù)，應(yīng)為測得的射頻測試總結(jié)構(gòu) 的射頻參數(shù)減去去嵌結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)的影響。傳統(tǒng)的做法是在版圖設(shè)計中，特殊設(shè)計一些 去嵌結(jié)構(gòu)并進(jìn)行相應(yīng)的去嵌運(yùn)算，從而排除去嵌結(jié)構(gòu)的影響。但是，傳統(tǒng)做法特殊設(shè)計一些 去...
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