技術(shù)編號(hào)：6157948
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于檢查在大型液晶面板等中使用的大型基板上形成的、電信號(hào)布線及晶體管電極等的圖案缺陷的。 背景技術(shù)以往，在作為TFT液晶基板的制造工序的光刻工序中，有時(shí)會(huì)由于制造裝置或曝 光裝置的異常而導(dǎo)致在基板上形成的圖案中產(chǎn)生缺陷。例如，在基板上附著有顆粒的情況 下，會(huì)發(fā)生局部圖案偏差，且該部分顯現(xiàn)為斑紋。 此外，由于曝光裝置的異常，特別是近年來(lái)作為曝光手段的鏡頭掃描方式下的鏡 頭調(diào)節(jié)異常，會(huì)產(chǎn)生鏡頭之間的圖案偏差，并顯現(xiàn)為條紋狀的斑紋。哪怕微小的圖案偏差也...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。