技術(shù)編號(hào):6158485
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)粘度傳感器測(cè)量芯片,更確切地說,是一 種用于粘度傳感器的基于MEMS技術(shù)硅微懸臂梁式芯片及其制備方法。背景技術(shù)測(cè)量流體粘度的方法有很多,典型的傳統(tǒng)粘度測(cè)量方法有毛細(xì)管法、旋轉(zhuǎn)法、落體 法、振動(dòng)法、平板法、粘度杯法等?;谶@些粘度測(cè)量方法的粘度計(jì)種類也很多,但是在這些 粘度計(jì)中有些制作困難,有些是測(cè)試條件較高。比如毛細(xì)管法,雖然制造和溫度控制簡(jiǎn)單、 實(shí)驗(yàn)操作方便、測(cè)量精度高、能夠進(jìn)行粘度的絕對(duì)測(cè)量,但是需要精心和頻繁的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。