技術(shù)編號(hào):6179819
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及,基于半導(dǎo)體材料對(duì)強(qiáng)度周期性調(diào)制的聚焦激勵(lì)光束吸收后產(chǎn)生的紅外輻射,通過(guò)收集和測(cè)量光載流子輻射信號(hào)測(cè)量半導(dǎo)體材料特性參數(shù);通過(guò)改變激勵(lì)光束強(qiáng)度的調(diào)制頻率,得到光載流子輻射信號(hào)與調(diào)制頻率的關(guān)系曲線;通過(guò)改變聚焦透鏡和樣品之間的間距,得到不同激勵(lì)光束光斑尺寸下光載流子輻射信號(hào)與調(diào)制頻率的關(guān)系曲線;通過(guò)分析不同激勵(lì)光束光斑尺寸下光載流子輻射信號(hào)與調(diào)制頻率的關(guān)系曲線,得到測(cè)量裝置的頻率響應(yīng)函數(shù)并消除其對(duì)半導(dǎo)體材料特性測(cè)量的影響。本發(fā)明彌補(bǔ)了傳統(tǒng)方法測(cè)量誤...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。