技術(shù)編號：6214879
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種。背景技術(shù)半導(dǎo)體行業(yè)中，多個(gè)工藝需要在密封環(huán)境內(nèi)完成，其工藝涉及晶元在密封腔內(nèi)的轉(zhuǎn)載，上述轉(zhuǎn)載一般是通過驅(qū)動(dòng)馬達(dá)實(shí)現(xiàn)的。然而，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)過程中，在行程的最高點(diǎn)和最低點(diǎn)出于保護(hù)馬達(dá)的目的，在兩行程端頭具有鎖定功能，該鎖定功能呈現(xiàn)為馬達(dá)故障，有可能被誤判為馬達(dá)性能失效。此種情況下，現(xiàn)有技術(shù)一般需打開密封腔對該馬達(dá)的狀況進(jìn)行檢測，若馬達(dá)被鎖定，則解除該鎖定；若馬達(dá)性能失效，則進(jìn)行維修或更換性能合格的馬達(dá)。上述方式由于需打開密封...
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