技術(shù)編號：6221383
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了。該系統(tǒng)包括靜電探針、支撐件、傳感器、處理器、脈沖發(fā)生器和直流穩(wěn)壓電源；靜電探針由支撐件固定呈懸掛狀態(tài)，脈沖發(fā)生器的一端接地，另一端連接支撐件，傳感器的一端連接支撐件，另一端連接處理器，直流穩(wěn)壓電源的一端接地。測試時，沉積于襯底上的待測相變材料置于靜電探針下方；直流穩(wěn)壓電源的另一端連接襯底，提供偏置電壓Vbias以改變襯底電位。本發(fā)明能檢測不同尺度相變材料的相態(tài)，尤其是納米尺度相變材料的相態(tài)，還能直觀地反映出相變材料相態(tài)在空間分布的特點。此外，...
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