技術(shù)編號(hào)：6226419
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種用于檢測(cè)銅金屬蒸氣濃度的多電極微型傳感器，其下而上包括包括金屬放電針陣列的放電陰極，所述放電陰極接地，通過(guò)在金屬放電針尖端局部小區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生強(qiáng)電場(chǎng)從而場(chǎng)致發(fā)射電子；用于隔絕放電陰極和提取電極的第一絕緣支撐；連接直流電源的提取電極，用于提取被測(cè)氣體通過(guò)電離、碰撞、擴(kuò)散后產(chǎn)生的正離子流，實(shí)現(xiàn)電子和正離子流的分離；用于隔絕提取電極和收集電極的第二絕緣支撐；連接直流電源的收集電極，使正離子流被電場(chǎng)加速?gòu)亩皇占姌O吸收。本發(fā)明所公開的傳感器可以在常溫、大氣壓及較...
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