技術(shù)編號(hào):6237777
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了,能夠?qū)崿F(xiàn)大動(dòng)態(tài)范圍和高采樣率的波前探測(cè)該波前傳感器通過亞波長(zhǎng)級(jí)光柵的透射效率對(duì)光波前斜率的響應(yīng)提供傳感信號(hào),可實(shí)現(xiàn)15°左右的動(dòng)態(tài)范圍;通過調(diào)節(jié)子單元中微型光柵尺寸來提高采樣率,使得動(dòng)態(tài)范圍與采樣分辨率不再為矛盾關(guān)系,可以同時(shí)獲得高采樣分辨率和大動(dòng)態(tài)范圍;該波前傳感器的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能穩(wěn)定、且加工工藝成熟;可以適用于各領(lǐng)域的在線檢測(cè)。本發(fā)明的探測(cè)方法,通過擬合入射光波透射率、入射角和方位角公式,基于本發(fā)明光柵陣列波前傳感器的實(shí)驗(yàn)結(jié)果數(shù)據(jù),解得入...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。