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      具有多臺(tái)工藝設(shè)備的制造系統(tǒng)的派工方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):6265739

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      本發(fā)明涉及產(chǎn)品的制造領(lǐng)域,尤其涉及一種。背景技術(shù)產(chǎn)品在制造過(guò)程中,尤其是半導(dǎo)體芯片的制造過(guò)程中,包含眾多復(fù)雜和重要的環(huán)節(jié)。由于規(guī)模龐大、制造資源眾多、高度不穩(wěn)定和反復(fù)重入型加工等特點(diǎn),使得半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)成為當(dāng)前最為復(fù)雜的制造系統(tǒng)之一。在半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)中,瓶頸設(shè)備是制約系統(tǒng)產(chǎn)量、生成周期和在制品水平的關(guān)鍵因素。為了保證瓶頸設(shè)備(例如黃光區(qū)的步進(jìn)機(jī))得到充分利用,必須提供充足的加工任務(wù),以防止因瓶頸設(shè)備空閑而造成系統(tǒng)整體的產(chǎn)量下降。現(xiàn)有技術(shù)中,對(duì)包含瓶...
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