技術(shù)編號(hào)：6323495
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微電子，特別涉及ー種エ廠自動(dòng)化系統(tǒng)、自動(dòng)化消息處理方法和裝置。背景技術(shù)目前在微電子生產(chǎn)領(lǐng)域中，エ廠自動(dòng)化技術(shù)已經(jīng)被廣泛制造廠商所采用。エ廠自動(dòng)化技術(shù)可以將設(shè)備與エ廠主機(jī)有機(jī)的結(jié)合起來，從而為操作人員提供一個(gè)簡單易懂的操作平臺(tái)完成自己復(fù)雜的勞動(dòng)。如圖1所示，為ー種エ廠自動(dòng)化控制系統(tǒng)的示意圖。從圖中可以看出，エ廠主機(jī)通過エ廠接ロ與傳輸控制設(shè)備以及エ藝設(shè)備相連并相互通信，這樣不僅能夠真實(shí)地向エ廠主機(jī)反映機(jī)臺(tái)當(dāng)前的運(yùn)行情況，而且還可以將エ廠的命令傳達(dá)到設(shè)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。