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      微諧振器溫度控制系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):6324568

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      本實(shí)用新型屬于對(duì)微系統(tǒng)器件進(jìn)行溫度控制的技術(shù),特別是一種微諧振器溫度控 制系統(tǒng)。背景技術(shù)微諧振器是一種典型的微系統(tǒng)(MEMS)器件,應(yīng)用領(lǐng)域廣闊。微諧振器不僅可以作 為微頻率源替代石英晶體振蕩器,而且是微諧振式加速度計(jì)、微諧振式陀螺儀、微夾鉗等微 傳感器和微執(zhí)行器的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)部件,也是微機(jī)械濾波器的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)。微諧振器具有體積小、 成本低、抗沖擊、可大批量加工等特點(diǎn)。微諧振器普遍以硅為材料,采用半導(dǎo)體加工工藝制作。微諧振器在激勵(lì)的作用下 振蕩在固有頻率點(diǎn)處,輸...
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