技術(shù)編號(hào):6332555
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造,特別涉及一種面向半導(dǎo)體制造裝備功能仿真的 運(yùn)行參數(shù)變化規(guī)律模擬系統(tǒng)。背景技術(shù)在集成電路制造裝備功能仿真過(guò)程中,面臨著很多種不同類(lèi)型的設(shè)備模型,而每 種模型內(nèi)部又有多種屬性參數(shù),其中整型與浮點(diǎn)型屬性參數(shù)在仿真運(yùn)行過(guò)程中可能有很多 種不同類(lèi)型的變化規(guī)律。在集成電路制造裝備功能仿真過(guò)程中,最為常見(jiàn)的屬性參數(shù)變化 規(guī)律為PID(比例-積分-微分)控制曲線變化規(guī)律,這就涉及PID控制算法的設(shè)計(jì)問(wèn)題。 在實(shí)際的制造設(shè)備中,工藝環(huán)境復(fù)雜多變,要想設(shè)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。
請(qǐng)注意,此類(lèi)技術(shù)沒(méi)有源代碼,用于學(xué)習(xí)研究技術(shù)思路。