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      面向半導(dǎo)體制造設(shè)備功能仿真的參數(shù)變化規(guī)律模擬系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):6332555

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      本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造,特別涉及一種面向半導(dǎo)體制造裝備功能仿真的 運(yùn)行參數(shù)變化規(guī)律模擬系統(tǒng)。背景技術(shù)在集成電路制造裝備功能仿真過(guò)程中,面臨著很多種不同類(lèi)型的設(shè)備模型,而每 種模型內(nèi)部又有多種屬性參數(shù),其中整型與浮點(diǎn)型屬性參數(shù)在仿真運(yùn)行過(guò)程中可能有很多 種不同類(lèi)型的變化規(guī)律。在集成電路制造裝備功能仿真過(guò)程中,最為常見(jiàn)的屬性參數(shù)變化 規(guī)律為PID(比例-積分-微分)控制曲線變化規(guī)律,這就涉及PID控制算法的設(shè)計(jì)問(wèn)題。 在實(shí)際的制造設(shè)備中,工藝環(huán)境復(fù)雜多變,要想設(shè)...
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