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      Mim電容模型的提取方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:6581939

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      本發(fā)明涉及一種集成電路中電容模型的提取方法,具體涉及一種金屬-絕緣 物-金屬(Metal-Insulator-Metal,簡稱MIM)電容模型的提取方法。背景技術(shù)目前廣泛應(yīng)用的MIM電容,其基本結(jié)構(gòu)如圖1所示,MIM電容位于頂層 金屬1和頂層金屬的下一層金屬2之間,由MIM電容上極板3和下一層金屬2 構(gòu)成了一個基本的平行板電容器。上極板3和下一層金屬2均通過電介質(zhì)中的 通孔4 (VIA)來連接頂層金屬1,然后分別連接到針墊5 (PAD)和針墊6,則 針墊5...
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