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      靜電容式傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:6649714

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      本發(fā)明涉及一種適合用于進行多維方向的操作輸入的靜電容式傳感器,特別是涉及一種耐壓特性好,且能夠簡化制造工藝的靜電容式傳感器。靜電容式傳感器中,可從操作者傳遞的力的大小,輸入持有預(yù)定的動力范圍(dynamic range)的操作量。并且,也可以作為能夠按施加力的各方向分量檢測的二維或三維力傳感器使用。特別是,通過兩片電極來形成靜電容元件,通過改變電極間隔而產(chǎn)生的靜電容量值的變化來進行力的檢測的靜電容元件式力傳感器,由于具有能夠使結(jié)構(gòu)簡單且謀求低成本的優(yōu)點,被...
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