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      光電傳感元件的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):6812935

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      本發(fā)明涉及根據(jù)權(quán)利要求1的前序部分的一種光電傳感元件。光電傳感元件是輻射接收器,其將電磁輻射能量(光子)轉(zhuǎn)換為電信號(hào),并且在測(cè)量是很重要的。例如,在諸如(差值型或絕對(duì)型的)長度和角度測(cè)量系統(tǒng)之類的位置測(cè)量系統(tǒng)中,幾個(gè)輻射接收器(尤其是光電元件)被安裝在一個(gè)柵結(jié)構(gòu)后面。這種類型的輻射接收器通常被設(shè)計(jì)成阻擋層光電探測(cè)器。它們包含PN、PIN、MS或MOS躍遷(轉(zhuǎn)換)(transition),其中,電磁輻射轉(zhuǎn)換為電信號(hào)是借助于光壘(photo barrier)層...
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