技術(shù)編號:6840879
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型是有關(guān)于一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),且特別有關(guān)于集成電路組件中一種制造金屬在金屬上(metal-over-metal;MOM)的組件結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)在集成電路設(shè)計(jì)中,有許多高效能、芯片電容器(on-chip capacitor)的應(yīng)用,而其中包括動態(tài)隨機(jī)存取存儲器(dynamic random access memories)、壓控諧振器(voltage control oscillators)、鎖相回路(phase-lock loops)、運(yùn)算放大器(ope...
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