技術(shù)編號:6846105
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及元件封裝工藝和一般用這種工藝封裝的元件,以及晶片級封裝工藝及特別地用這種工藝封裝的元件。背景技術(shù) 對于多種技術(shù)應(yīng)用,需要密封地封裝的芯片,因為例如,用這種工藝可以保護半導(dǎo)體基片上的敏感集成電路。但是,封裝至少對光學(xué)元件和微機械元件同樣重要。已知的工藝中首先將芯片與晶片組件分離,然后分別封裝。這是極其復(fù)雜的工藝,幾乎不適合用于敏感元件的大規(guī)模生產(chǎn)。特別地,集成電路或其它元件在從晶片分離時還沒有被保護,結(jié)果它們在鋸截操作中被污染和/或毀壞。還有已知的...
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