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      Mram技術(shù)中用于mtj中的合成反鐵磁結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):6846227

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      本發(fā)明涉及磁隧道結(jié)(MTJ),并且更具體地,涉及使用用于自由層(free layer)的合成反鐵磁(SAF)結(jié)構(gòu)的MTJ。背景技術(shù) 公知磁阻隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(MRAM)具有許多優(yōu)點(diǎn),例如快速、非易失性和高密度。然而,在以可制造方式生產(chǎn)MRAM中存在困難。已經(jīng)遭遇的困難之一是難于可靠地寫入MRAM單元。通過轉(zhuǎn)換比特已經(jīng)有效地解決了這一困難,轉(zhuǎn)換比特既改變寫入方式,又改變以前使用的自由層的結(jié)構(gòu)。這一特定解決方案通常使用用于自由層的SAF結(jié)構(gòu)。使用用于自由層的SA...
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