技術(shù)編號：6849854
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種，且特別是涉及一種制造內(nèi)連線的方法。背景技術(shù) 自從于數(shù)十年前首次問世，微電子元件在尺寸上已顯著地減少。因幾何尺寸上的微縮，整個半導體制做方法已有所改變。例如光學微影已利用如相位移光罩、光學近階修正(optical proximity correction)、偏軸照射(off-axis illumination)及其他延伸微縮設計法則的制程能力的技術(shù)。但此技術(shù)仍無法提供高聚焦深度(depth of focus；DOF)、及低光罩誤差加強系數(shù)(m...
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