技術(shù)編號：6857252
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種終點偵測方法與相關(guān)的制程設(shè)備，尤指一種以頻率調(diào)制(frequency modulated)方式來尋找出一終點時間的方法以及相關(guān)的制程設(shè)備。于半導(dǎo)體制造過程中，終點偵測方法是非常重要的。終點偵測方法的好壞，關(guān)系到制造過程時間的控制，也就關(guān)系到產(chǎn)品的品質(zhì)。請參閱第1圖，第1圖為一種現(xiàn)有的制程設(shè)備。制程設(shè)備10包含有一制程裝置12、一控制裝置14以及一終點偵測裝置16。制程裝置12中可以進(jìn)行所希望的一制造過程，并提供一制程信號(process s...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。