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      尋-掃探針(ssp)存儲(chǔ)設(shè)備的位擦除體系結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):6887829

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      一般來(lái)說(shuō),本發(fā)明涉及微機(jī)電(MEMS)設(shè)備和系統(tǒng),具體^f旦非 排他性地說(shuō),本發(fā)明涉及可擦除的MEMS尋-掃探針(SSP )存儲(chǔ)器。背景扶術(shù)常規(guī)的固態(tài)存儲(chǔ)器對(duì)每個(gè)存儲(chǔ)位采用微電子電路元件。因?yàn)槊總€(gè) 存儲(chǔ)位需要一個(gè)或多個(gè)電子電路元件(例如,每位l-4個(gè)晶體管), 所以這些設(shè)備要消耗相當(dāng)多的芯片"有效面積"來(lái)存儲(chǔ)信息位,這限 制了存儲(chǔ)器芯片的密度。這些設(shè)備中的主要的存儲(chǔ)元件通常是用于保 存場(chǎng)效應(yīng)晶體管的柵極上的電荷以便存儲(chǔ)每個(gè)存儲(chǔ)位的浮柵場(chǎng)效應(yīng) 晶體管器件。典...
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