技術(shù)編號(hào):6891617
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。實(shí)施例涉及一種制造半導(dǎo)體存儲(chǔ)器的方法。其它實(shí)施例涉及一種形成相 變層的方法,使用形成相變層的方法制造存儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)的方法,以及應(yīng)用制造存 儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)的方法制造相變存儲(chǔ)器件的方法。背景技術(shù)相變材料的分子結(jié)構(gòu)根據(jù)它的溫度可能為結(jié)晶狀態(tài)或非晶狀態(tài)。當(dāng)相變 材料為結(jié)晶時(shí),相變材料的電阻可能相對(duì)地低。當(dāng)相變材料為非晶時(shí),相變 材料的電阻可能相對(duì)高。相變存儲(chǔ)器件使用相變材料的上述特性來(lái)記錄數(shù)據(jù)。相變存儲(chǔ)器件可能 包括晶體管、以及通過(guò)接觸插塞電連接到晶體管的源極區(qū)和漏極區(qū)的存儲(chǔ)節(jié)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。