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      相變層、存儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)、以及相變存儲(chǔ)器的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):6891617

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      實(shí)施例涉及一種制造半導(dǎo)體存儲(chǔ)器的方法。其它實(shí)施例涉及一種形成相 變層的方法,使用形成相變層的方法制造存儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)的方法,以及應(yīng)用制造存 儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)的方法制造相變存儲(chǔ)器件的方法。背景技術(shù)相變材料的分子結(jié)構(gòu)根據(jù)它的溫度可能為結(jié)晶狀態(tài)或非晶狀態(tài)。當(dāng)相變 材料為結(jié)晶時(shí),相變材料的電阻可能相對(duì)地低。當(dāng)相變材料為非晶時(shí),相變 材料的電阻可能相對(duì)高。相變存儲(chǔ)器件使用相變材料的上述特性來(lái)記錄數(shù)據(jù)。相變存儲(chǔ)器件可能 包括晶體管、以及通過(guò)接觸插塞電連接到晶體管的源極區(qū)和漏極區(qū)的存儲(chǔ)節(jié)...
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