技術(shù)編號：6899236
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件,并且更具體地涉及具有鰭結(jié)構(gòu)溝道的半 導(dǎo)體器件及其制造方法。背景技術(shù)近來，由于半導(dǎo)體器件的設(shè)計規(guī)則隨著半導(dǎo)體器件集成度的提高而快 速減小，因而實現(xiàn)半導(dǎo)體器件內(nèi)部晶體管的穩(wěn)定運行變得更加困難。尤其 是，由于晶體管尺寸也隨著半導(dǎo)體器件的設(shè)計規(guī)則降低至50 nm或更小尺 度而減小，因而單元閾值電壓(Vt)和刷新特性容限達(dá)到極限。因此，正 在進(jìn)行各種研究以提供在不增大設(shè)計規(guī)則的情況下實現(xiàn)更大的有效溝道 長度的技術(shù)。例如，通過增加用于受限的柵...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。