技術(shù)編號：6901038
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的實施例一般涉及半導(dǎo)體器件、用于形成半導(dǎo)體器件的方法、以及 用作非易失性存儲器的半導(dǎo)體器件。背景技術(shù)閃存己經(jīng)被廣泛用于諸如移動電話、個人數(shù)字助理(PDA)、數(shù)碼相機、 MP3播放器、USB器件等的大范圍電子應(yīng)用的非易失性存儲器。由于閃存被 常將用作用于存儲大量信息的便攜記錄器件，因此非常希望減小的功率消耗和 元件尺寸，以及增加的操作速度。閃存器件通常包括用于存儲電荷的在隧道氧化物上的浮柵電極和用于容 納電荷的相當(dāng)厚的電介質(zhì)氧化物圍繞(oxide su...
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