技術(shù)編號：6901518
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種平版印刷投影裝置，其包括輻射系統(tǒng)，用于提供輻射投影光束；支撐結(jié)構(gòu)，可支撐圖案形成裝置，所述圖案形成裝置根據(jù)希望形成的圖案使所述投影光束帶有圖案；投影系統(tǒng)，將帶有圖案的光束投影到襯底的目標(biāo)部分；和調(diào)準(zhǔn)系統(tǒng)，可利用輻射調(diào)準(zhǔn)光束檢測參考標(biāo)記和所述襯底標(biāo)記之間的對準(zhǔn)狀況。 背景技術(shù) 本文所用的術(shù)語“圖案形成裝置”應(yīng)當(dāng)從廣義上解釋為某種裝置，其可使進(jìn)入的輻射光束形成帶圖案的截面，該圖案對應(yīng)于在襯底的目標(biāo)部分要形成的圖案；也可使用術(shù)語“光閥”。一般地，所...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。