技術(shù)編號:6920893
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種導(dǎo)電膜及其制造方法,更具體而言,是涉及一種具有具備多個以ZnO為主要成分的ZnO導(dǎo)電膜層的多層結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電膜及其制 造方法。背景技術(shù)近年,透明電極被廣泛地應(yīng)用于平板顯示器或太陽電池等中。而且, ITO (加錫的銦氧化物)也被作為透明電極的材料而被廣泛地應(yīng)用。但是,銦(In)的價格高,且是會擔(dān)心資源枯竭的物質(zhì),因此,對使 用其它材料的透明電極的要求高漲。作為不使用In的透明電極,對使用價 格低的、且能穩(wěn)定地供應(yīng)的鋅(Zn)的氧化物(ZnO)的Zn...
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