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      可變電容元件的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:6941795

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      本發(fā)明涉及例如在通信裝置等的電路中使用的可變電容元件。 背景技術(shù)可變電容元件是例如在包括變頻振蕩器、調(diào)諧放大器、移相器、阻抗匹配電路等的 電路中使用的重要部件。近年來,可變電容元件安裝到移動裝置的情況越來越多。與迄今 為止已經(jīng)主要使用的變?nèi)荻O管相比,使用MEMS技術(shù)制造的可變電容元件由于具有低損 失而具有能增大Q值的優(yōu)點(diǎn)。由于此原因,正在向前推進(jìn)這些可變電容元件的開發(fā)。可變電容元件通常構(gòu)造成通過改變兩個(gè)相對電極之間的距離而改變電容(例如 參見專利文件1)...
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