技術(shù)編號(hào)：6987971
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。用于清潔基板的設(shè)備和系統(tǒng)背景技術(shù)在諸如集成電路和存儲(chǔ)器單元之類半導(dǎo)體器件的制造中，進(jìn)行一系列制造操作， 以定義半導(dǎo)體晶片(“晶片”)的特征。晶片(或基板)包括在硅基板上定義的多層次結(jié)構(gòu)形式的集成電路器件。在基板的層次，形成帶擴(kuò)散區(qū)的晶體管器件。在隨后的層次，互連金屬線被圖案化并且電氣連接到晶體管器件，以定義所需的集成電路器件。此外，圖案化的導(dǎo)電層與其它導(dǎo)電層之間由介電材料絕緣在一系列的制造操作期間，晶片表面暴露于各類污染物。在制造操作中存在的任何物質(zhì)在本質(zhì)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。