技術編號:6993391
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種絕緣體上硅(SOI)器件,尤其涉及一種基于絕緣體上硅的射頻LDMOS晶體管結構,屬于半導體器件領域。背景技術隨著器件的等比例縮小,CMOS器件的頻率、噪聲等性能持續(xù)改善,但其功率性能退化卻成為一個日益嚴重的問題,擊穿電壓低和功率性能差成為了限制CMOS技術在射頻功率領域內(nèi)廣泛應用的主要因素。功率MOS器件正好彌補了常規(guī)CMOS器件功率性能的不足,它具有優(yōu)良的射頻功率性能,如線性動態(tài)范圍大、線性增益高、輸出功率大、功率密度高、便于器件內(nèi)部形成輸...
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