技術(shù)編號(hào)：6994170
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于集成電路圖案及其制造，包含多重圖案化方法的使用于制造集成電路，通過(guò)該技術(shù)方案可以促進(jìn)由此形成的材料線(xiàn)的接達(dá)。 背景技術(shù)集成電路通常用于制作多樣化的電子裝置，例如存儲(chǔ)芯片。對(duì)于縮小集成電路的尺寸，存在有一種強(qiáng)大的盼望，以能增加個(gè)別元件的密度，且因此提高集成電路的功能性。集成電路上的最小間距(在相同形式的兩個(gè)鄰近構(gòu)造(例如兩個(gè)鄰近的柵極導(dǎo)體的相同點(diǎn)之間的最小距離)常被使用作為此電路的密度的代表測(cè)定。電路密度的增加常受限于可取得的光刻設(shè)備的分辨率。一...
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