技術(shù)編號：6998319
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光刻投影裝置，該裝置包括-提供輻射投影光束的輻射系統(tǒng)；-支撐構(gòu)圖裝置的支撐結(jié)構(gòu)，該構(gòu)圖裝置用于根據(jù)所需的圖案對投影光束進(jìn)行構(gòu) 圖；-保持基底的基底臺；-在基底的目標(biāo)部分投影帶圖案的光束的投影系統(tǒng)；-至少部分的用液體填充所述投影系統(tǒng)的最后元件和定位在所述基底臺上的目標(biāo) 之間的空間的液體供給系統(tǒng)。背景技術(shù)這里使用的術(shù)語“構(gòu)圖裝置”應(yīng)廣義地解釋為能夠給入射的輻射光束賦予帶圖案 的截面的裝置，其中所述圖案與要在基底的目標(biāo)部分上形成的圖案一致；本文中也...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。