技術編號：7008717
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種，其中該設備包括用于裝載基板的卡匣與用于搬運卡匣的搬運機，沿垂直于搬運機運動方向依次設置有用于處理卡匣的第一處理室和第二處理室；基板運輸設備還包括設置在所述第一處理室和第二處理室之間，用于驅動所述卡匣從所述第一處理室移至所述第二處理室的第一輸送帶。實施本發(fā)明，搬運機只要將卡匣搬運到輸入口之后即可完成在第一處理室和第二處理室的工藝流程，中間無需搬運機進行處理，從而減少了搬運機的搬運量，減少了基板生產(chǎn)周期時間，提供了產(chǎn)能。專利說明[0001]本發(fā)...
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