技術(shù)編號：7015460
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了。該場效應(yīng)管包括襯底；柵電極、源電極和漏電極；以及氧化物半導(dǎo)體層；其中，所述氧化物半導(dǎo)體層包括分別與所述源電極和漏電極電接觸的源區(qū)和漏區(qū)，和用以提供源電極和漏電極之間導(dǎo)電溝道的溝道區(qū)，其中，在所述氧化物半導(dǎo)體層與用于電接觸柵電極的柵區(qū)之間設(shè)置柵電極絕緣層，以及在氧化物半導(dǎo)體層上設(shè)置氧化物半導(dǎo)體保護層。采用本發(fā)明可避免半導(dǎo)體氧化物層在器件制備過程中受到損傷，從而提高了器件的導(dǎo)電特性和結(jié)構(gòu)完整性。專利說明[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，具體而言，...
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