技術(shù)編號(hào)：7023760
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。背景技術(shù)場效應(yīng)型晶體管被廣泛用作半導(dǎo)體存儲(chǔ)集成電路的單元電子元件、高頻信號(hào)放大元件、液晶驅(qū)動(dòng)用元件等，目前是最多地被實(shí)際使用的電子設(shè)備。不僅在液晶顯示裝置(IXD)中，而且在電致發(fā)光(EL)顯示裝置、場致發(fā)光顯示器(FED)等各種顯示裝置中，薄膜晶體管(TFT)多被用作對(duì)顯示元件施加驅(qū)動(dòng)電壓而使顯示裝置驅(qū)動(dòng)的開關(guān)元件。作為TFT驅(qū)動(dòng)元件，目前最廣泛使用的是硅系半導(dǎo)體薄膜。與此相對(duì)，高遷移率且穩(wěn)定性優(yōu)異的包含金屬氧化物的透明半導(dǎo)體薄膜受到關(guān)注。近...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。