技術(shù)編號(hào)：7034835
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)，特別是涉及一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的EFEM控制系統(tǒng)。背景技術(shù)半導(dǎo)體加工設(shè)備中通常包括一種前端接口，該接口容納著便于傳遞工件(即，晶圓)并監(jiān)督這種傳遞的部件，該前端接口即為設(shè)備前端模塊(Equipment Front EndModule, EFEM)。EFEM通常包括機(jī)器手、預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)、裝載口組件、風(fēng)扇/過濾器單元(......,FFU)等多個(gè)分離且獨(dú)立的組件或子設(shè)備。同時(shí)，EFEM作為半導(dǎo)體加工設(shè)備的組成部分，工作過程中亦將對(duì)半導(dǎo)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。