技術(shù)編號:7055091
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供了一種寬禁帶半導(dǎo)體器件及其制作方法,屬于半導(dǎo)體制備。它解決了現(xiàn)有寬禁帶半導(dǎo)體器件中易受熱膨脹影響的問題。本寬禁帶半導(dǎo)體器件包括使用寬禁帶半導(dǎo)體材料為襯底的芯片和使用寬禁帶半導(dǎo)體材料制成的底座,并在所述的底座上設(shè)有放置芯片的凹槽結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還提供了一種制作本寬禁帶半導(dǎo)體器件的方法。本發(fā)明的寬禁帶半導(dǎo)體器件的芯片襯底和底座均采用寬禁帶半導(dǎo)體材料制成,能夠達到快速散熱的目的;同時由于熱膨脹系數(shù)和散熱系數(shù)基本相同,因此不需要在底部或者附屬配件上增加調(diào)整熱...
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