技術(shù)編號：7057374
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了使反應(yīng)器中壓強脈沖與射頻調(diào)節(jié)協(xié)調(diào)的系統(tǒng)、方法及設(shè)備。具體而言，一種等離子體處理系統(tǒng)和方法包括處理室及包括在其中的等離子體處理體積。所述等離子體處理體積比所述處理室的體積小。所述等離子體處理體積由頂電極、與所述頂電極的表面相對的襯底支撐表面以及包括至少一個出口的等離子體約束結(jié)構(gòu)限定。傳導(dǎo)控制結(jié)構(gòu)能活動地設(shè)置成靠近所述至少一個出口并且能控制流過所述至少一個出口的流出流在第一流率與第二流率之間，其中所述傳導(dǎo)控制結(jié)構(gòu)控制所述出口流率，并且至少一個射頻源...
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