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      集成電路之制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:7103181

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      本發(fā)明系關(guān)于一種集成電路(integration circuit,IC)之制造方法,此方法是將半導(dǎo)體集成電路之前端制程及后端制程分開在兩基底上制作,之后再將兩者接合,而完成一集成電路芯片制造。目前,由于集成電路的制程朝向ULSI發(fā)展,因此內(nèi)部的電路密度愈來愈增加,隨著芯片中所含組件的數(shù)量不斷增加,組件的尺寸也隨積集度的提升而不斷地縮小,芯片的表面漸漸無法提供足夠的面積來制作所需的內(nèi)連導(dǎo)線。為了適應(yīng)新的需求,兩層以上的金屬導(dǎo)線設(shè)計(jì),便逐漸成為許多集成電路所必...
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