技術(shù)編號：7107147
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種濕制程蝕刻方法及裝置，尤其涉及一種以攪棒擾動載具邊緣的濕制程蝕刻方法及裝置。背景技術(shù)一般在進(jìn)行濕式蝕刻時(shí)，首先反應(yīng)物利用擴(kuò)散效應(yīng)，通過一層薄薄的擴(kuò)散邊界層，以到達(dá)被蝕刻薄膜表面。然后，這些反應(yīng)物將與薄膜表面的分子產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，并生成各種反應(yīng)生成物。這些位于薄膜表面的反應(yīng)生成物，也將利用擴(kuò)散效應(yīng)，通過擴(kuò)散邊界層到達(dá)溶液里，而后隨著溶液排出。為了增加擴(kuò)散效應(yīng)，有利用磁鐵帶動蝕刻槽底部的攪棒以攪拌蝕刻液，但此種方式僅能攪動下層的蝕刻液，對于大面積的...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。