技術(shù)編號(hào)：7114653
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明主要涉及光刻法以及光刻圖案化的方法。特別是涉及使用無(wú)定形碳層改善光柵或光罩制造的方法。背景技術(shù) 一般而言，光柵或者光罩是包含輸送到晶圓的圖案的光刻工具。在集成電路的領(lǐng)域中，可將光柵歸類為含有一個(gè)或者更多小芯片的圖案的平板，但是無(wú)法大到能夠一次輸送晶圓尺寸的圖案。在集成電路的領(lǐng)域中，可將光罩歸類為含有大到能夠一次圖案化全晶圓的圖案的平板。光柵與光罩的圖案可由配置于玻璃平板上(例如，熔化的硅土、蘇打石灰玻璃、硼硅玻璃、二氧化氟硅以及石英)的不透明與非不透...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。