技術(shù)編號(hào)：7122676
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般涉及襯底加工，且更特別地涉及襯底托架以及將它們與加工工具連接的裝置和方法。相關(guān)申請參照本申請與下列受讓人相同、共同待決的美國專利申請有關(guān)，其中每個(gè)申請的全部內(nèi)容合并于此以供參考2002年8月31日提交的美國第60/407451號(hào)臨時(shí)專利申請，其名稱為“System For Transporting Wafer Carriers”(律師編號(hào)6900/L)；2002年8月31日提交的美國第60/407339號(hào)臨時(shí)專利申請，其名稱為“Method an...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。