技術(shù)編號：7123596
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明通常涉及用于分析在晶片處理設(shè)備上進(jìn)行晶片處理操作的性能的方法，并且更具體地涉及用于識別引起統(tǒng)計(jì)控制之外的信號(out-of-statistical-control signal)的變量的方法和用于結(jié)合專家知識來確定這類信號的重要性的技術(shù)。背景技術(shù) 為了量化和研究在晶片處理期間處理?xiàng)l件的影響，處理工程師承擔(dān)的任務(wù)是開動許多的處理、其中每個都有特別的集合變量，然后全面地研究結(jié)果。眾所周知，集合變量有許多。例如，變量可以包括腔室壓力、腔室溫度、輸出到一個或...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。