技術(shù)編號:7125427
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種YB2單晶的用途,特別是作為外延GaN單晶薄膜的襯底材料使用。近年來,III-V族氮化物半導(dǎo)體(Ga、In、Al)N作為蘭、蘭綠、紫外波段發(fā)光器件的候選材料,引起了人們的極大關(guān)注。但一直沒有找到非常合適的外延生長GaN基半導(dǎo)體單晶薄膜的襯底材料。目前已經(jīng)使用過外延GaN單晶薄膜用的襯底材料有GaN、Al2O3、SiC、ZnO、LiGaO2等十多種晶體。如文獻(xiàn)1(Proceedings of thesecond international co...
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